Среднеионные насосы
Среднеионные насосы (СИН) — это тип вакуумных насосов, который сочетает в себе некоторые преимущества малых ионных насосов и турбомолекулярных насосов. Они предназначены для откачки газов и создания высокого вакуума в среднем диапазоне давлений, обычно от 10^-3 до 10^-7 торр.
Принцип работы среднеионных насосов основан на комбинации ионизации газа и использования турбомолекулярного движения для откачки газов. СИН состоит из электрода, который создает электрическое поле для ионизации газа, и вращающегося ротора, который создает турбулентное движение газа. Ионы газа ускоряются под воздействием электрического поля и направляются к коллектору, где они нейтрализуются и удаляются из системы. В то же время, вращающийся ротор создает поток газа, который помогает откачивать газы через насос.