Турбонасосные системы (TPS)

Турбонасосные системы являются важной частью вакуумной техники и используются для достижения высокого вакуума в различных приложениях. Турбонасосная система состоит из турбомолекулярного насоса (турбонасоса) и дополнительных компонентов, таких как преднасосы, вакуумные клапаны, контрольно-измерительные приборы и др.

Кроме того, турбонасосные системы включают в себя вакуумные клапаны для регулирования потока газа и предотвращения обратного потока, а также контрольно-измерительные приборы, такие как манометры и датчики, для мониторинга и управления параметрами вакуума.