Турбонасосы
Турбонасосы (Turbo Pumps) — Турбомолекулярные вакуумные насосы (ТМН) являются эффективными устройствами для создания высокого вакуума в различных приложениях, таких как исследования в области физики, химии и микроэлектроники, производство полупроводниковых устройств, а также в вакуумных системах для обработки материалов и покрытий.
Основной принцип работы турбомолекулярных насосов основан на использовании вращающегося ротора с высокоскоростными лопатками внутри корпуса. Внутри корпуса создается серия коллимированных ступеней, которые ускоряют молекулы газа, направляя их в одном направлении. Молекулярные столкновения и перенос массы приводят к перемещению газа отсека к отсеку и, в конечном итоге, к его удалению из системы. Благодаря этому принципу работы турбомолекулярные насосы способны достичь высоких уровней вакуума.
Турбомолекулярные вакуумные насосы широко используются в научных и промышленных областях, где требуется создание и поддержание высокого уровня вакуума. Они играют важную роль во многих технологических процессах, которые зависят от чистоты и контроля окружающей среды, таких как производство полупроводниковых чипов, исследования поверхностей материалов и разработка новых материалов.