Большие ионные насосы
Большие ионные насосы (БИН) - это тип вакуумных насосов, которые используются для эффективной откачки газов из вакуумных систем. Они основаны на использовании электромагнитного поля для создания ионизации газа и его последующей откачки.
Принцип работы больших ионных насосов основан на том, что газ в системе ионизируется, превращаясь в ионы. Затем электромагнитное поле внутри насоса ускоряет ионы, направляя их к электроду с противоположным зарядом, где они нейтрализуются и удаляются из системы. Этот процесс называется ионной рекомбинацией. Большие ионные насосы работают на основе газового разряда и требуют наличия ионизирующего газа, такого как аргон или ксенон.
Большие ионные насосы обладают высокой скоростью откачки и могут обеспечить очень низкие уровни давления, что делает их полезными для приложений, где требуется создание и поддержание высокого вакуума. Они широко используются в промышленности, особенно в области производства полупроводниковых устройств, при сборке и тестировании вакуумных систем, в физических исследованиях и других областях, где вакуум является критическим элементом процесса.