Большие диффузионные насосы
Большие диффузионные насосы (Large Diffusion Pumps) — это усовершенствованный тип вакуумных насосов, предназначенных для удаления больших объемов газов из вакуумных систем. Они работают на основе принципа диффузии молекул газа через специальные каналы или отверстия.
Основной принцип работы больших диффузионных насосов такой же, как и у малых диффузионных насосов, но они обладают более крупными размерами и большей производительностью. Внутри насоса имеются специальные диффузионные каналы, через которые происходит диффузия молекул газа. Диффузионные каналы обычно изготавливаются из материалов с высоким коэффициентом диффузии, таких как нержавеющая сталь или титан.
При наличии разности давления газ проникает в диффузионные каналы и диффундирует в область с низким давлением. Большие диффузионные насосы могут работать с большими объемами газа и обеспечивать высокую скорость откачки. Они обычно применяются в крупных промышленных и научных установках, где требуется откачка больших объемов газа и создание высокого уровня вакуума.
Большие диффузионные насосы широко применяются в промышленности, особенно в области производства полупроводниковых устройств, производства стекла, металлургии и других отраслях, где требуется откачка больших объемов газа и поддержание высокого вакуума.